SEMI標(biāo)準(zhǔn)簡介：

SEMI(半導(dǎo)體設(shè)備與材料的國際性組織)是半導(dǎo)體工業(yè)的全球執(zhí)行聯(lián)盟，SEMI之下的安全工作小組為了降低機械危害的風(fēng)險，制定了一套適用于半導(dǎo)及顯示器材料和制造設(shè)備的全球性標(biāo)準(zhǔn)和法規(guī)，適用于所有用于芯片制造、量測、組裝和測試的設(shè)備,成為半導(dǎo)體業(yè)界對設(shè)備系統(tǒng)的必備的規(guī)格要求。

SEMI S2半導(dǎo)體認(rèn)證簡介:

SEMI S2是針對半導(dǎo)體制程設(shè)備供貨商所規(guī)范的基本健康和安全要求安全標(biāo)準(zhǔn)。符合SEMI S2不僅符合了國際相關(guān)規(guī)定，也是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的保險公司所要求的必要條件之一。目前已成為真正的美國和全球半導(dǎo)體制造設(shè)備的安全準(zhǔn)則。

SEMI S2涵蓋半導(dǎo)體制造設(shè)備的環(huán)境、健康及安全條件。具體說來，SEMI S2涉及電氣、機械、防火、化學(xué)、輻射、噪音和防震等各方面的安全領(lǐng)域。

SEMI S2認(rèn)證和遵守法規(guī)的途徑：

對于制造商而言，SEMI安全的核心是S2，即《半導(dǎo)體制造設(shè)備的環(huán)境，健康和安全指南》。

實際上，其他產(chǎn)品安全準(zhǔn)則可以視為支持S2。面向職業(yè)健康和安全的指南通常與制造商無關(guān)。

SEMI S2認(rèn)證指南是由SEMI行業(yè)的領(lǐng)導(dǎo)者制定的，以確保每臺設(shè)備都符合法規(guī)要求，并經(jīng)過嚴(yán)格的安全標(biāo)準(zhǔn)檢查。主題包括消防，電氣危險防護，減輕機械危險，化學(xué)，輻射，噪聲和人體工程學(xué)危險，通風(fēng)要求，緊急停機程序，排氣規(guī)格，危險警告警報和標(biāo)簽，文件要求等。

S2評估通常是買方作為保障的要求，并且可以作為出售的條件。

SEMI S2認(rèn)證評估:

在電氣/機械安全，化學(xué)暴露評估，通風(fēng)，噪聲，電離輻射，非電離輻射，激光，環(huán)境影響評估以及SEMI S2認(rèn)證指南要求的其他專業(yè)領(lǐng)域通常SEMI S2評估將需要以下評估以支持核心S2評估：

提供給用戶的文件
危險警告標(biāo)簽
安全聯(lián)鎖系統(tǒng)
緊急關(guān)機
電氣設(shè)計
防火保護
加熱化學(xué)浴
人機工程學(xué)和人為因素
危險能量隔離
機械設(shè)計
抗震保護
自動化物料搬運員
環(huán)境考量
排氣通風(fēng)
化學(xué)制品
電離輻射
非電離輻射和場
雷射
聲壓級
相關(guān)文件

SEMI常見安全標(biāo)準(zhǔn)：

SEMI標(biāo)準(zhǔn)中有材料（M系列）、設(shè)備（F系列）、平板顯示器（D系列）、跟蹤性（T系列）等，其中S系列規(guī)定了環(huán)境健康安全（EHS）的要求。

SEMI S1 裝置安全標(biāo)簽   Safety Guideline for Visual Hazard Alerts
SEMI S2 半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置的環(huán)境、健康、安全Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S3 熱化學(xué)槽的安全性 Safety Guidelines for Heated Chemical Baths
SEMI S4 櫥柜收納高壓氣筒的隔離／分離Safety Guideline for the Segregation/ Separation of Gas Cylinders Contained in Cabinets
SEMI S5 流量限制設(shè)備Safety Guideline for Flow Limiting Devices
SEMI S6 換氣Safety Guideline for Ventilation
SEMI S7 半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置的環(huán)境、健康、及安全性（ESH）評價Safety Guidelines for Environmental,Safety and Health Evaluation of emiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S8 半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置的人機工程學(xué)Safety Guidelines for Ergonomics/Human Factors Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S9  半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置的電氣設(shè)計驗證試驗Electrical Test Methods for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S10 風(fēng)險核查Safety Guideline for Risk Assessment
SEMI S11 半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置的小環(huán)境的環(huán)境、安全性及健康Environmental, Safety, and Health Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment Minienvironments
SEMI S12 裝置的去污Guidelines for Equipment Decontamination
SEMI S13 半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置的操作及維護手冊Safety Guidelines for Operation and Maintenance Manuals Used with Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S14 對半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置的火災(zāi)風(fēng)險評估和降低Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S15 有毒及易燃?xì)怏w的檢測系統(tǒng)評價Safety Guidelines for the Evaluation of Toxic and Flammable Gas Detection Systems
SEMI F47 電壓瞬變能力規(guī)范 Voltage Sag Standard

SEMI認(rèn)證流程：

1.客戶遞交技術(shù)資料和認(rèn)證申請
2.項目經(jīng)理和工程師確認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)，報價
3.客戶準(zhǔn)備資料，樣品及測試費用
4.工程師j進行樣品測試，出具評估報告
5.機構(gòu)審核技術(shù)資料，簽發(fā)證書

SEMI認(rèn)證辦理：

沃證（VIACERT）SEMI專家團隊可以幫助企業(yè)高效地解決半導(dǎo)體設(shè)備的安全問題，助力半導(dǎo)體企業(yè)滿足最新的SEMI評估要求并取得SEMI認(rèn)可報告，順利打開半導(dǎo)體市場。